8MTLHP300XY - High Load Planar Stage

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Preis auf Anfrage



  • 644626629
  • RoHS konform
  • 9031908590/LT
8MTLHP300XY - High Load Planar Stage   Verfahrbereich: 300 x 300 mm Auflösung: bis... mehr
Produktinformationen "8MTLHP300XY - High Load Planar Stage"

8MTLHP300XY - High Load Planar Stage

 

  • Verfahrbereich: 300 x 300 mm
  • Auflösung: bis zu 1 nm
  • Tragfähigkeit: >200 kg
  • Direktantrieb, spielfreies XY-Planarsystem
  • Hochauflösender berührungsloser optischer Inkrementalgeber
  • Absolute bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,15 µm (±0,10 µm RMS)
  • Maximale Geschwindigkeit (ohne Last, obere Achse): 800 mm/s
  • Maximale Beschleunigung (ohne Last, obere Achse): 8000 mm/s^2
  • Hochpräzise Linearführung mit Kreuzrollenlagern und Anti-Käfig-Kriechsystem
  • Genauigkeit: ±1,00 µm
  • Lange Lebensdauer garantiert
  • Einfache Integration in metrische/imperiale optomechanische Systeme
  • Standardmäßige Orthogonalität von 5 Bogensekunden
  • Einsetzbar in industriellen Anwendungen wie Laserschneiden, Ritzen, Bohren, Markieren
  • Solide integrierte planare Konstruktion
  • Alle Messberichte sind standardmäßig enthalten!
  • Vakuum bis zu 10-3 Torr „ab Lager“ verfügbar



Spezifikationen

AchsenX, Y
Plattform500 x 500 mm

Führungssystem

Kreuzrollenlager mit Käfigverschiebungsschutz
Verfahrbereich300 mm
Positionsgenauigkeit

Vor Kalibrierung: ±5 µm

Nach Kalibrierung: ±1 µm

Wiederholbarkeit (bidirektional)

±0,15 µm (peak to peak)

±0,1 µm   (RMS)

Pitch±48 µrad, ±10 arcsec
Yaw±39 µrad,  ±8 arcsec
Roll±48 µrad, ±10 arcsec
Orthogonalität24 µrad, 5 arcsec
Max. Geschwindigkeit (ohne Last)<800 mm/s
Max. Beschleunigung (ohne Last)<8000 mm/s2
EncoderOptisch, Model Len1
Encoder-Auflösung<5 nm
Encoder-Gitterperiode20 µm
ReferenzmarkeJa
Encoder-InterfaceRS422 oder 1Vpp
Endschalter

Hall Sensoren
Polarität: negative end of run

Spannung: 5 … 24 V

Belastbarkeit (zentrale Last)>200 kg
Moving mass X100 kg
Moving mass Y57 kg
DesigntypLinear motor stage; Planar design
LinearmotorEisenloser BLDC Motor, Model: LM11
Maximum bus voltage>320 VDC
Maximal continues current2,1 A
Maximal peak current, 7 APK
Maximal continues force140 NN
Maximal peak force480 NPK
Pole pitch N to S/ N to N21 / 42 mm
MaterialAluminium, schwarz eloxiert
Abmessungen (W × L × H)

518 × 622 × 167 mm

KabellängeAuf Anfrage
Differentielle AusgängeAuf Anfrage
GewichtTBD
Mess-SystemMetrisch / Imperial
UmgebungsbedingungenNormal-Atmosphäre, 20 ± 2 °C
Protection levelBasic
RoHSCompliant
Empfohlener Controller / TreiberCMXA / UDMXA
Empfohlenes InterfaceEtherCAT


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